XP-703DⅢ半導體材料氣體檢測儀

XP-703DⅢ半導體材料氣體檢測儀

檢測對象

H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3

檢測濃度

1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm

檢測原理

熱線型半導體式

采樣方式

自動吸引式

應用行業

半導體制造

01.產品特點

●  小型·輕量

●  可以檢查非常微量的氣體泄漏

●  適合氫氣相關設備的保安

●  搭載的泵有自動停止功能

●  搭載[自動氣體排氣模式]功能

●  保護等級約為IP22（JIS C  0920）※安裝皮套時

02.產品用途

●  半導體工廠/石油化學工廠等

●  在使用半導體材料氣體/毒性氣體的現場進行泄漏檢測

03.產品參數

※1.根據不同環境條件、使用條件、保存期限、電池廠家，有時會有不同。

※2.安裝皮套時。
※3.所謂相當于IP22是指：對于手指接近設備內部的危險位置的保護結構（IP2X）、以及外部對垂直15度以內傾斜時，在4個位置各2.5分（合計10分）垂直落下的水滴不會給機器內部造成有害影響的結構。

XP-703DⅢ半導體材料氣體檢測儀

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